電子線マイクロアナライザー（FE-EPMA）



　固体試料表面に電子線を照射し、試料から発生する特性X線を検出することで、微小領域の化学組成や広い領域の元素濃度マップなどを得ることができます。

装置外観
JXA-88230
JEOL製 JXA-8230
原理 　真空中で試料に4nm〜100μmの電子ビームを照射、測定部位から発生する特性X線、 反射電子、二次電子などの強度を測定し、 元素の分布等を観察する。 用途 　(1) 元素の偏析、マッピング調査
　(2) 元素間の濃淡比較
　(3) 表面分析

装置仕様

装置名 JXA−8230 加速電圧 0.2〜30kV
 照射電流 1×10-12 〜 1×10-6A 分析元素 5B〜92U WDX
（波長分散Ｘ線分光法）装着数 5チャンネル EDS
（エネルギー分散Ｘ線分光法） 8元素同時分析 X線取り出し角度 40° 面分解能 1μm