FE-EPMAによる解析事例

　クロムステンレス（Cr-SUS）の微細析出物の解析結果

　従来型の熱電子放出型に比較して、1μm以下の微細析出物に対する元素分析（マッピング）の精度が格段に向上しました。
　TE-EPMAでは凝集した状態でしか観察されなかった微細析出物が、FE-EPMAでは個々に分離して観察できます。
FE-EPMA
（反射電子像）　　（Cr）
（ア）FE-EPMA［新］
FE-EPMA
（反射電子像）　　（Cr）
（イ）TE-EPMA
新旧 EPMAで解析したCr-SUS の微細析出物

　耐熱鋼の結晶粒界に析出したフィルム状粒界析出物の解析結果

フィルム状の粒界析出物がクロム炭化物であること、 及び粒界の一部に、 リン（P）が偏析していることがFE-EPMAで明確になりました。
（反射電子像）　　　(C)
FE-EPMA
(P) 　　　　　　(Cr)
（ア）FE-EPMA［新］
（反射電子像）　　　(C)
FE-EPMA
(P) 　　　　　　(Cr)
（イ）TE-EPMA
新旧 EPMAで解析した耐熱鋼（SUH38）の粒界析出物