オージェ電子分光分析装置（AES）

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　試料表面に電子線を照射すると極表層に存在する元素に固有のオージェ電子が放出されます。このエネルギーのスペクトルを測定して元素分析を行います。スパッタリングにより、深さ方法の元素濃度変化もわかります。