原子間力顕微鏡（AFM）
非常に細い探針と試料の間に働く原子間力を電気信号に変換し、試料の表面形状を原子スケールで観察できます。粗さ測定も可能です。
装置外観
（Digital Instruments製 Nano Scope Ⅲa）
- 原理
- 非常に細い探針で試料表面を走査し、短針と試料表面に働く原子間力を
電気信号に変えて、試料の表面形状を原子レベルで観察する。
- 用途
-
用途 原子スケールで、試料表面の立体像を得ると共に粗さ測定を行う。
装置仕様
- 測定範囲
- 1μm〜100μm
- 最大試料サイズ
- φ150mm×高さ12mm