極薄Fe酸化膜のラマン分光分析
ラマン分光分析はレーザーが侵入する範囲の物質の測定をすることが可能です。
金属にはレーザーが侵入しないため、金属表面の極薄酸化膜の分析が可能です。
今回、純鉄表面の薄い酸化膜についてラマン分光分析を行い、AES分光分析とXRDの結果を踏まえ、その有効性を評価しました。
分析方法
供試材:純鉄を研磨し 熱処理時間を変えて酸化処理。→薄い酸化膜を形成
(1)ラマン分光分析
測定波長:532nmレーザー
測定時間:4分
(露光時間:2分 積算2回)
(2)AES分光分析
ラマン分光分析と同一箇所での酸化膜厚みを測定
(3)XRD分析
薄膜測定 入射角度 0.5°
ラマン分光分析では・・・
狙った箇所(分析径:約1μm)の酸化膜の定性分析が行える。
酸化膜が厚くなると、ピーク強度が高くなるため、酸化膜厚の相対比較が短時間で行える。
XRD検出下限以下の極薄い膜(約10〜50nm)の検出が可能