物理測定
材料の様々な表面や内部状態を電子線やX線などを活用し、解析や分析を行いお客様に情報を提供します。
さらにお客様の解析要望に合わせ、各種解析の提案および考察にも対応します。
〈対象材料〉
・金属,無機物,有機物
〈実施事例〉
・材料破損時の破面解析(SEM)
・材料の元素マッピング,深さ方向分析(SEM,EPMA,オージェ)
・物質構造の定性(X線回折)
・結晶方位の観察,マッピング(X線回折,SEM-EBSD)
・金属材料の残留応力測定(ポータブル残留応力計)
図1 電子線を利用した材料の様々な解析や分析内容
〈保有分析技術及び保有設備一覧〉
設備
型式
メーカー
導入年
電子銃/管球
付属検出器
SEM
JSM-6010PLUS/LA
JEOL
2015年
熱電子型
EDX
JSM-7800F
JEOL
2014年
電解放出型
EDX, EBSD
SU6600
日立
2009年
電解放出型
EDX
JSM-F100
JEOL
2020年
電解放出型
EDX
EPMA
JXA-8230
JEOL
2012年
熱電子型
EDX, WDX
JXA-iHP200F
JEOL
2023年
電解放出型
EDX,WDX
オージェ
PHI700Xi
アルバック
2012年
電解放出型
オージェ電子
X線回析
Smart-Lab
リガク
2018年
Co管球
多次元検出器
残留応力
μ-X360n
パルステック
2014年,2016年
Cr管球,V管球
cosα法