エネルギー分散型蛍光X線分析装置



 固体試料にX線を照射し、発生する蛍光X線から元素含有量を測定します。広範囲の試料形態に対応し、非破壊で迅速な定性分析ができます。

装置外観
XGT-7200
装置外観(HORIBA製 XGT-7200)

原理
 分析試料にX線を照射すると、原子中の内殻電子が殻外に放出される。
 外殻電子が内殻に落ち込む時に発生する2次(蛍光)X線を、元素特有のエネルギー毎に分散して そのX線強度を電気的に測定する。
特徴
 (1)試料形態の制約が少ない
 (2)定性分析が短時間にできる
 (3)定性分析プロファイルが画面に表示可能
対象試料
 (1)調査材料の品種判別
 (2)異材混入時の識別判定