電界放出型 低加速電圧走査型電子顕微鏡(FE-SEM)
固体試料表面に電子ビームを照射し、微小領域から発生する二次電子、反射電子、 特性X線を検出することにより、表面形態の観察や化学組成の分析をします。加速電圧を低くすることにより、最表面の微小構造の解像度が高く、電気抵抗の高い試料は蒸着せずに観察できます。
装置外観
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JEOL製 JSM-F100
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日立製 SU6600
原理
固体試料表面に電子線を照射し、試料から発生する二次電子、反射電子、
特性X線を検出して観察・分析を行う。
用途
(1) 光学顕微鏡に比べ焦点深度が深い
(2) 試料の形態、破断面、微細領域の観察
(3) 観察部分の化学成分組成の定性分析
![JEOL JSM-F100](/dbr/products/img/03_02_setsubi.jpg)
![SU6600](/dbr/products/img/SU6600.jpg)
(2) 試料の形態、破断面、微細領域の観察
(3) 観察部分の化学成分組成の定性分析
装置仕様
装置名
JSM-F100
SU6600
加速電圧
0.5〜30kV
0.5〜30kV
二次電子分解能
0.9nm(加速電圧20kV)
1.3nm(加速電圧1kV)
1.2nm (加速電圧30kV高真空モード)
3.0nm (加速電圧1kV高真空モード)
倍率
X10〜1,000,000
X20〜600,000
分析元素
5B〜92U
5B〜92U
1.3nm(加速電圧1kV)
3.0nm (加速電圧1kV高真空モード)