電界放出型　低加速電圧走査型電子顕微鏡（FE-SEM）

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　固体試料表面に電子ビームを照射し、微小領域から発生する二次電子、反射電子、 特性Ｘ線を検出することにより、表面形態の観察や化学組成の分析をします。加速電圧を低くすることにより、最表面の微小構造の解像度が高く、電気抵抗の高い試料は蒸着せずに観察できます。

装置外観

JEOL製 JSM-F100

日立製 SU6600

原理 　固体試料表面に電子線を照射し、試料から発生する二次電子、反射電子、 特性Ｘ線を検出して観察・分析を行う。 用途 　(1) 光学顕微鏡に比べ焦点深度が深い
　(2) 試料の形態、破断面、微細領域の観察
　(3) 観察部分の化学成分組成の定性分析

装置仕様

装置名 JSM-F100 SU6600 加速電圧 0.5〜30kV
0.5〜30kV
二次電子分解能 0.9nm（加速電圧20kV）
1.3nm（加速電圧1kV） 1.2nm　（加速電圧30kV高真空モード）
3.0nm　（加速電圧1kV高真空モード） 倍率 X10〜1,000,000 X20〜600,000 分析元素 5B〜92U 5B〜92U

SU6600事例紹介