　電界放出型　電子線マイクロアナライザー（FE-EPMA）

　FE-EPMA（電界放出型電子線マイクロアナライザー）はビーム径が小さいため、極めて微細な介在物やフィルム状の粒界析出物の同定が可能です。

従来のEPMA（TE-EPMA）は熱電子放出型で、ビーム径が十分に絞れず、微小面積の分析に限界があり、極表層部の分析もあまり得意ではありませんでした。 この度導入したFE-EPMA は、電界放出型電子銃の採用で、小さな光源が可能になり分解能を大幅に改善しました。 これにより、更に微小面積の分析が可能となりました。 本装置の特長 これらの特長を有する FE-EPMAは、元素のマッピングにより、極めて微細な析出物や介在物の同定、及び粒界偏析の調査等が可能となりました。 FE-EPMAによる解析事例 1. クロムステンンレス（Cr-SUS）の微細析出物の解析結果 2. 耐熱鋼の結晶粒界に析出したフィルム状粒界析出物の解析結果 以上の解析事例に示しました様に、従来のEPMAでは解析が十分に出来なかった非常に微細（≦1μm）な析出物や粒界偏析等の解析がFE-EPMAでは可能です。 皆様のご利用をお待ちしております